沈陽芯源公司“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機研發與產業化項目”獲評遼寧省科技進步一等獎_沈陽芯源微電子設備股份有限公司

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沈陽芯源公司“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機研發與產業化項目”獲評遼寧省科技進步一等獎

發布時間：2020-06-30 瀏覽次數4623

日前，遼寧省人民政府發布了關于2019年度遼寧省科學技術獎勵的決定。沈陽芯源微電子設備股份有限公司提報的“集成電路InFO工藝制程涂膠顯影機研發與產業化項目”被評為遼寧省科技進步一等獎。

該項目通過自主研發，突破了集成電路后道先進封裝InFO工藝涂膠顯影設備關鍵技術，并進行集成創新，使設備整體技術達到國際先進水平。該項目產品于2016年成功拿下臺灣市場批量訂單，實現進口替代。

未來，芯源公司將不斷加大創新力度，為客戶提供更加優質可靠的產品，助推國產半導體產業進步，成為受社會尊重的世界級企業！

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